低溫恒溫槽主要作用于對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。
低溫恒溫槽在技術(shù)上已經(jīng)在上具有很高的水準(zhǔn)，其中特別是在壓縮機(jī)的技術(shù)上，已經(jīng)內(nèi)具有較高水平，低溫恒溫槽采用的是壓縮機(jī)制冷機(jī)組，有很好的過熱保護(hù)裝置，對于電流過大，系統(tǒng)過熱都有著多重的保護(hù)，低溫恒溫槽可以采用多角度多方式的將低溫恒溫的液體引出保留在第二溫度場，可以方便第二現(xiàn)場的使用，低溫恒溫槽采用的是數(shù)字模擬電路設(shè)計，智能pid控制器，溫度數(shù)顯一起顯示。
1、采用風(fēng)冷式全封閉壓縮機(jī)制冷，具有制冷速度快、噪音低等優(yōu)點(diǎn)。
2、制冷系統(tǒng)具有過熱、過電流多重保護(hù)裝置。
3、溫度微機(jī)智能控制、操作簡單、溫度穩(wěn)定性好、有上下限溫度報警、PID自動控制。
4、采用大視窗藍(lán)色背光LCD顯示，讀數(shù)直觀，動行狀態(tài)指示明顯。
5、智能微機(jī)可修正溫度測量值偏差，使數(shù)顯分辨率達(dá)到0.001℃。
6、槽內(nèi)采用自溢式循環(huán)，保證工作槽的溫度穩(wěn)定性和均勻性。
7、特殊用戶PID可自調(diào)。
8、有內(nèi)、外循環(huán)，外循環(huán)時可將槽內(nèi)恒溫液體外引，可建立第二恒溫場，還可以作為冷源（熱源）把槽內(nèi)液體外引，可以降低（升高）槽外部實(shí)驗(yàn)容器的溫度，擴(kuò)展使用范圍。
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